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著者名瀬岡雅典, 深田 直樹, 陳 君, 関口 隆史, 鶴井隆雄, 村上浩一.
タイトルSiナノ細線へのPおよびBのコドーピングと酸素アニールによるP原子・B原子の偏析挙動
(P and B codoping in Si nanowires and segregation of P atoms and B atoms during thermal oxidation)
会議名春季第55回応用物理学会学術講演会
発表年2008
言語Japanese
外部での文献参照

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