HOME > Presentation > DetailTiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較(Comparison of breakdown characteristic between PE-ALD and TiN electrode with TiO2/Al2O3/TIO2 capacitor)澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭. 日本金属学会 2016年春期(第158回)講演大会. 2016.NIMS author(s)NABATAME, ToshihideOHI, AkihikoNAGAO, TadaakiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:44:36 +0900Updated at: 2017-07-10 22:19:05 +0900