HOME > Presentation > Detail
TiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較
(Comparison of breakdown characteristic between PE-ALD and TiN electrode with TiO2/Al2O3/TIO2 capacitor)
日本金属学会 2016年春期（第158回）講演大会. March 23, 2016-March 25, 2016.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:44:36 +0900Updated at: 2017-07-10 22:19:05 +0900