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著者名澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭.
タイトルTiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較
(Comparison of breakdown characteristic between PE-ALD and TiN electrode with TiO2/Al2O3/TIO2 capacitor)
会議名日本金属学会 2016年春期(第158回)講演大会
発表年2016
言語Japanese
外部での文献参照

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