HOME > 口頭発表 > 詳細TiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較(Comparison of breakdown characteristic between PE-ALD and TiN electrode with TiO2/Al2O3/TIO2 capacitor)著者澤田 朋実, 生田目 俊秀, ダオ デュイ タン, 山本 逸平, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 大石知司, 小椋厚志, 長尾 忠昭. 会議名日本金属学会 2016年春期（第158回）講演大会発表年2016言語Japanese
