TiO2/Al2O3/TiO2キャパシタにおけるPE-ALD RuO2とTiN電極の耐圧特性の比較
(Comparison of breakdown characteristic between PE-ALD and TiN electrode with TiO2/Al2O3/TIO2 capacitor)
日本金属学会 2016年春期（第158回）講演大会. 2016.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:44:36 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:19:05 +0900