Air damping effect on the quality factor of single-crystal diamond MEMS resonators
(単結晶ダイヤモンドMEMS共振子のエアダンピング研究)
第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022年09月20日-2022年09月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-29 03:20:19 +0900更新時刻: 2022-09-29 03:20:19 +0900