XPSデータセットの自動解析によるGaN初期酸化過程解析のハイスループット化
(High throughput analysis of the initial oxidation process of GaN u sing data sets and automated peak fitting)
第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020年09月08日-2020年09月11日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-11-02 03:36:56 +0900更新時刻: 2021-11-02 03:36:56 +0900