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XPSデータセットの自動解析によるGaN初期酸化過程解析のハイスループット化
(High throughput analysis of the initial oxidation process of GaN u sing data sets and automated peak fitting)

著者原田 善之, 角谷 正友, 篠塚 寛志, 登坂 弘明, 松波 成行, 田沼 繁夫, 吉川 英樹.
会議名第81回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2020
言語Japanese

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