機械学習を用いたTiNエピタキシャル成長のclosed-loop optimization |

機械学習を用いたTiNエピタキシャル成長のclosed-loop optimization
(Closed-loop optimization of TiN epitaxial thin-film growth utilizing machine learning )

著者	大久保勇男, ホーズーフォン, Jiyeon N. Lee, 相澤俊, Mikk Lippmaa, 知京豊裕, 津田宏治, 森孝雄.
会議名	第41回電⼦材料研究討論会
発表年	2021
言語	Japanese