機械学習を用いたTiNエピタキシャル成長のclosed-loop optimization
(Closed-loop optimization of TiN epitaxial thin-film growth utilizing machine learning )
第41回電⼦材料研究討論会. 2021年11月04日-2021年11月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-11-11 03:38:38 +0900更新時刻: 2021-11-11 03:38:38 +0900