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先進イナート表面への挑戦:極低活性・極低反応性表面を実現する材料/処理技術の探索とその計測技術の調査
(Challenge to advanced inert surface)

著者板倉 明子, 矢ヶ部 太郎, 土佐 正弘, 大西 桂子, 宮内 直弥, 吉田肇, 間瀬一彦, 青柳里果, 土橋和也.
会議名TIA-イナート・TIA-NEG合同キックオフミーティング
発表年2018
言語Japanese

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