研究内容
- Keywords
薄膜・表面界面物性 設計工学・機械機能要素・トライボロジー 材料加工・処理
出版物原則として、2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- 小西陽子, 後藤真宏, 笠原章, 土佐正弘, 吉原一紘. 真空容器内壁被覆用回転導入スパッタ電極. 真空. ()
- 土佐正弘, 吉原一紘, 新居和嘉, 武井厚, 岩木正哉, 斎藤一男. Ti+イオン注入したSUS304ステンレス鋼と純鉄のTiCとTiNの析出挙動. 日本金属学会誌. (1985)
- TOSA, Masahiro, 李京燮, KASAHARA, Akira, 吉原一紘. Surface Cleanness of Substrate Transported by XHV Integrated Process. Applied Surface Science. ()
書籍
- 土佐 正弘. 極高真空プロジェクト. エヌ・ティー・エス, 2019
- 土佐 正弘. 表面粗さ測定. 朝倉書店, 2021, 2.
- 土佐 正弘. 2.1 真空容器材料,2.2 真空用部品材料と表面処理,2.5 真空用潤滑材料. 真空科学ハンドブック. , 2018, -.
会議録
- TOSA, Masahiro. ZnO Sputter Coating - Application to Ball Bering System and Development of Gas Turbine Generator. Abstract Book of TICS2016. (2016) 31-32
- TOSA, Masahiro, SASAKI, Michiko, GOTO, Masahiro, KASAHARA, Akira, HONDA, Hiroshi, SUZUKI, Hiroshi. Small Gas Turbine Generator with Use of ZnO Coated Ball Bearings. Proceedings of KJMST20016. (2016) 47-47
- Balavenkatesh Rengaraj, KASAHARA, Akira, ARAKI, Hiroshi, WATANABE, Makoto, TOSA, Masahiro, KURODA, Seiji, Masakazu Okazaki. High Temperature Siliding Friction Behavior of Warm Sprayed (WS) Cr3C2-NiCr Coatings. 日本溶射学会 第101回(2015年度春季)全国講演大会講演論文集. (2015) 43-44
口頭発表
- TOSA, Masahiro. Small Gas Turbine Generator with Use of ZnO Coated Ball Bearings. KJMST2016. 2016
- TOSA, Masahiro. ZnO Sputter Coating - Application to Ball Bering System and Development of Gas Turbine Generator. 7th Tsukuba International Coating Symposium 2016. 2016
- 板倉 明子, 吉田 肇, 村瀬 義治, 間瀬 一彦, 矢ヶ部 太郎, 土佐 正弘. 先進イナート表面への挑戦 :極低活性・極低反応性表面を実現する材料処理技術の探索. TIA10周年記念シンポジウム -拡大と深化で未来を拓くTIA-. 2019
その他の文献
- 土佐 正弘. IVC-20 SEセッションン報告. Journal of the Vacuum Society of Japan. (2017) 68-69 10.3131/jvsj2.60.68
- 土佐 正弘. The 3rd Korea-Japan International Symposium on Materials Science and Technology(KJMST2016)報告. MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY OF JAPAN. 54 [1] (2017) 41-41
- TOSA, Masahiro. ZnO Sputter Coating - Application to Ball Bering System and Development of Gas Turbine Generator. Abstract Book of TICS2016. (2016) 31-32
特許
- 特許第7016096号 イオンの測定装置及びそれを用いた点欠陥の位置検出方法 (2022)
- 特許第6950913号 ベアリング試験用治具 (2021)
- 特許第6504597号 テルル化ビスマス薄膜製造方法 (2019)
- 特開2005320590号 コンビナトリアル成膜方法とそれに用いる成膜装置 (2005)
- 特開2004137522号 真空容器内壁表面の改質方法 (2004)
- 特開2004292898号 低反射材料とその作製方法 (2004)
所属学会
全米材料学会 全米真空協会 日本トライボロジー学会 日本応用物理学会 日本金属学会