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集束イオンビームCVD法によるGaN立体構造の作製と評価

長田 貴弘, 佐久間 芳樹, 関口 隆史, 知京 豊裕.
日本電子材料技術協会第42回秋期講演大会. 2005.

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    Created at: 2017-02-14 11:20:13 +0900Updated at: 2017-07-10 19:28:17 +0900

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