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著者名長田 貴弘, 佐久間 芳樹, 関口 隆史, 知京 豊裕.
タイトル集束イオンビームCVD法によるGaN立体構造の作製と評価
会議名日本電子材料技術協会第42回秋期講演大会
発表年2005
言語Japanese
外部での文献参照

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