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著者名神永惇, 鈴木慶太郎, 深田 直樹, 菱田 俊一, 関口 隆史, 村上浩一.
タイトルSiナノワイヤの結晶性回復と不純物の活性化
(Crystallization process and reactivation impurity atoms in silicon nanowires)
会議名秋季第72回応用物理学会学術講演会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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