HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Evolution of leakage sites in high-k dielectrics revealed by electron-beam-induced current (EBIC) technique陳 君, 関口 隆史, 高瀬 雅美, 深田 直樹, 梅澤 直人, 大毛利 健治, 知京 豊裕, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 犬宮誠治, 奈良安雄. 2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会. 2007.NIMS著者陳 君深田 直樹知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 03:51:32 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:51:38 +0900