SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

口頭発表の表示

著者名陳 君, 関口 隆史, 高瀬 雅美, 深田 直樹, 梅澤 直人, 大毛利 健治, 知京 豊裕, 蓮沼隆, 山部紀久夫, 犬宮誠治, 奈良安雄.
タイトルEvolution of leakage sites in high-k dielectrics revealed by electron-beam-induced current (EBIC) technique
会議名2007年春季第54回応用物理学関係連合講演会
発表年2007
言語Japanese
外部での文献参照

▲ページトップへ移動