Crystalline structure of Ga2O3 films on GaN(0001) and sapphire(0001) substrates after annealing process

SAWADA, Tomomi, NABATAME, Toshihide, 高橋誠, 伊藤和博, IROKAWA, Yoshihiro, KOIDE, Yasuo, TSUKAGOSHI, Kazuhito.

THERMEC 2023 International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials Processing, Fabrication, Properties, Applications. 2023年07月03日-2023年07月07日.

NIMS著者

生田目俊秀
色川芳宏
小出康夫
塚越一仁

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2023-07-27 11:27:56 +0900更新時刻: 2023-07-27 11:27:56 +0900