Deposition and mechanism study for super-high dielectric constant AlOx/TiOy nanolaminates

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LIU, Jiangwei, 岡村雅之, 増子尚徳, IMURA, Masataka, LIAO, Meiyong, 菊地　諒介, 鈴鹿　みちお, KOIDE, Yasuo.

6th International Conference on MATERIALS SCIENCE & NANOTECHNOLOGY. 2023年09月06日-2023年09月07日. 招待講演

作成時刻: 2023-09-15 03:20:38 +0900更新時刻: 2024-01-09 03:09:11 +0900