HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] ＳｉＣ薄膜の作成法2000-03-21. 特開2000080471号 (Google Patents) , 特許3131773号NIMS著者大吉 啓司末原 茂相澤 俊菱田 俊一作成時刻 :2023-07-22 21:44:37 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:37 +0900
