ALD- （ZrO2）/（HfO2） ラミネートによる HfZrO2 強誘電体薄 膜の作製と電気特性
(Characteristics and Fabrication of HfZrO2 Ferroelectric Thin Film Using ALD-（ZrO2）/（HfO2）Laminate)
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-16 04:42:11 +0900 更新時刻: 2026-10-16 04:42:11 +0900