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著者名Yoshiyuki Yamashita, Toyohiro Chikyow, Julius Joseph Santillan, Toshiro Itani.
タイトルReaction mechanism of ZrO x metal resists with extreme ultraviolet irradiation
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 58 SD SDDC01
発表年2019
言語English
DOI10.7567/1347-4065/ab0542
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