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著者名山下 良之, 吉川 英樹, 知京 豊裕, 小林 啓介.
タイトルバイアス印加硬X線光電子分光法によるゲートスタック構造内のポテンシャル分布の直接観測
(Bias-Dependence Potential Distribution in Gate Stack Structuresby Hard-X-ray Photoelectron Spectroscopy under Device Operation)
掲載誌名表面科学 35 [7] 361-364
ISSN: 03885321 18814743
発表年2014
言語Japanese
ESIでのカテゴリ
DOIhttps://doi.org/10.1380/jsssj.35.361
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