Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy
(ヘリウムイオン顕微鏡を用いた積層型セラミックコンデンサ断面のアクティブ電圧コントラストの画像化)

C. Sakai, N. Ishida, H. Masuda, S. Nagano, M. Kitahara, Y. Ogata, D. Fujita.

Applied Physics Letters 109 [5] 051603. 2016.

https://doi.org/10.1063/1.4960524

NIMS著者

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作成時刻: 2016-10-26 15:42:27 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:55:56 +0900

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