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低ガス放出表面としてのSUS316L鋼酸化クロム処理の評価
(Low Outgas Surface Treatment of Stainless Steel 316L Using Segregated Chromium Oxide Layer)

著者板倉 明子, 土佐 正弘, 矢ヶ部 太郎, 宮内 直弥, 笠原 章, 宮田 敏光, 進藤 豊彦.
掲載誌名表面と真空 61 [10] 675-680
ISSN: 24335843, 24335835
出版社公益社団法人 日本表面真空学会
発表年2018
言語Japanese
DOIhttps://doi.org/10.1380/vss.61.675
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