低ガス放出表面としてのSUS316L鋼酸化クロム処理の評価
(Low Outgas Surface Treatment of Stainless Steel 316L Using Segregated Chromium Oxide Layer)

著者	板倉 明子, 土佐 正弘, 矢ヶ部 太郎, 宮内 直弥, 笠原 章, 宮田 敏光, 進藤 豊彦.
掲載誌名	表面と真空 61 [10] 675-680 ISSN: 24335843, 24335835
出版社	公益社団法人 日本表面真空学会
発表年	2018
言語	Japanese
DOI	https://doi.org/10.1380/vss.61.675
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