コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御
(Combinatorial Sputter Coating System and Frictional Property Control of ZnO Coating Films)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 16:27:13 +0900 更新時刻: 2026-10-08 07:59:23 +0900