HOME > 論文 > 書誌詳細コンビナトリアルスパッタ成膜装置とZnO膜の摩擦特性制御(Combinatorial Sputter Coating System and Frictional Property Control of ZnO Coating Films)後藤 真宏, 笠原 章, 土佐 正弘. Journal of the Vacuum Society of Japan 54 [11] 565-570. 2011.https://doi.org/10.3131/jvsj2.54.565 NIMS著者後藤 真宏笠原 章土佐 正弘Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2016-05-24 16:27:13 +0900 更新時刻 :2018-12-19 06:07:46 +0900