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Evaluation of lattice curvature and crystalline homogeneity for 2-inch GaN homo-epitaxial layer

著者Okkyun Seo, Jae Myung Kim, Chulho Song, Yanfang Lou, L. S. R. Kumara, Satoshi Hiroi, Yanna Chen, Yoshio Katsuya, Yoshihiro Irokawa, Toshihide Nabatame, Yasuo Koide, Osami Sakata.
掲載誌名AIP Advances 8 [7] 075318
ISSN: 21583226
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社AIP Publishing
発表年2018
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.5042098
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