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著者名TAJIMA, Nobuo, OHNO, Takahisa, HAMADA, Tomoyuki, YONEDAKatsumi, KOBAYASHINobuyoshi, SHINRIKIManabu, MIYAZAWAKazuhiro, SAKOTAKaoru, HASAKASatoshi, INOUEMinoru.
タイトルCarbon-Rich SiOCH Films with Hydrocarbon Network Bonds for Low-k Dielectrics:First-Principles Investigation
(低誘電率材料のための、炭素含有量が多く炭化水素ネットワーク結合を有するSiOCH膜:第一原理的研究)
発表誌名Proceeding of the 2006 International Interconnect Technology Conference
発表年2006
言語English

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