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著者名UMEZAWA, Naoto, SHIRAISHI, Kenji, 鳥居和功, Mauro Boero, CHIKYOW, Toyohiro, WATANABE, Heiji, YAMABE, Kikuo, OHNO, Takahisa, YAMADA, Keisaku, 奈良安雄, YAMADA Keisaku.
タイトルNitrogen Incorporation in Hf-based High-k Dielectrics: Reduction in Electron Charge
発表誌名PROCEEDINGS OF ESSDERC 2005
発表年2005
言語English

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