Role of oxygen transfer for high-k/SiO2/Si stack structure on Vfb shift
(high-k/SiO2/Siスタック構造における酸素移動がVfbシフトへ及ぼす役割)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 01:58:49 +0900更新時刻: 2024-04-01 23:23:43 +0900