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高速CWレーザーアニール法を用いたGeおよびGeSn材料の結晶成⻑
(Growth of Ge and GeSn by high speed CW laser annealing)

著者松村 亮, 深田 直樹.
発表誌名電子デバイス界面テクノロジー研究会 –材料・プロセス・デバイス特性の物理–プロシーディング集
発表年2021
言語Japanese

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