成長時およびイオン注入によるシリコンナノワイヤへの不純物ドーピング
(Impurity doping in silicon nanowires during and after synthesis by ion implantation)
2009 MRS Fall Meeting. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:47:46 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:42:26 +0900