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著者名FUKATA, Naoki, Naoyuki Saito, Shinya Ishida, Shigeki Yokono, SATO, Keisuke, CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, Kouichi Murakami.
タイトルImpurity doping in silicon nanowires during and after synthesis by ion implantation
(成長時およびイオン注入によるシリコンナノワイヤへの不純物ドーピング)
会議名2009 MRS Fall Meeting
発表年2009
言語English
外部での文献参照

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