成長時およびイオン注入によるシリコンナノワイヤへの不純物ドーピング
(Impurity doping in silicon nanowires during and after synthesis by ion implantation)
2009 MRS Fall Meeting. 2009年11月30日-2009年12月04日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 03:47:46 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:42:26 +0900