Plasma-Enhanced ALD法で作製したＡｌ２Ｏ３膜の特性
(Characterization of Al2O3 Films Grown by Plasma-Enhanced ALD Process)
NIMS Conference 2013. 2013年07月01日-2013年07月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:45:30 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:37:59 +0900