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Plasma-Enhanced ALD法で作製したAl2O3膜の特性
(Characterization of Al2O3 Films Grown by Plasma-Enhanced ALD Process)

木村 将之, 生田目 俊秀, 山田 博之, 大井 暁彦, 大石知司, 知京 豊裕.
NIMS Conference 2013. 2013.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-01-08 03:45:30 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:37:59 +0900

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