HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Plasma-Enhanced ALD法で作製したAl2O3膜の特性(Characterization of Al2O3 Films Grown by Plasma-Enhanced ALD Process)木村 将之, 生田目 俊秀, 山田 博之, 大井 暁彦, 大石知司, 知京 豊裕. NIMS Conference 2013. 2013.NIMS著者生田目 俊秀大井 暁彦知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-01-08 03:45:30 +0900 更新時刻 :2017-07-10 21:37:59 +0900