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Metal glass application as the gate materials for the future <i>hp</i> 32-22nm node MOSFET

著者知京 豊裕, 桜井淳平, 秦 誠一, 松本 祐司, 大毛利 健治, 柳生 進二郎, 吉武 道子, 渡部 平司, 山田 啓作, 下川邊 明.
会議名STAC-JTMC
発表年2007
言語Japanese

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