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| 著者名 | TANAKA, Akihiro, KIMURA, Takashi, FUKUSHIMA, Sei, IWAI, Hideo, OGIWARA, Toshiya, TANUMA, Shigeo. |
|---|---|
| タイトル | Summary of the VAMAS Round-Robin Test for Practical Analyses on the Electron Beam Damage to SiO2/Si Specimens (SiO2/Si 試料の電子線損傷に関するVAMASラウンドロビン試験結果) |
| 会議名 | ECASIA 2011 |
| 発表年 | 2011 |
| 言語 | English |