SiO2/4H-SiC界面における界面準位と界面構造の相関
(Atomic Structures and Interface States at SiO2/4H-SiC Interface)
第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-11-12 03:38:16 +0900更新時刻: 2021-11-12 03:38:16 +0900