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著者名吉武 道子, 柳生 進二郎, 知京 豊裕.
タイトル溝形状と単結晶アルミナ基板の歪解放との関係
(Effect of trench shapes on the strain release of epitaxial alumina)
会議名第75回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2014
言語Japanese

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