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スケーリングしたMg, La導入したHigh-k/メタルゲートnMISFETにおける面積スケーリングに伴うしきい値電圧増加の抑制
(Suppression of Anomalous Threshold Voltage Increase with Area Scaling)

諸岡哲, 佐藤基之, 松木武雄, 鈴木隆之, 上殿明, 白石賢二, 宮崎誠一, 大毛利健治, 山田啓作, 生田目 俊秀, 知京 豊裕, 由上二郎, 池田和人, 大路譲.
2010 Symposia on VLSI Technology and Circuits. 2010.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 11:44:59 +0900 更新時刻 :2017-07-10 20:47:12 +0900

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