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スケーリングしたMg, La導入したHigh-k/メタルゲートnMISFETにおける面積スケーリングに伴うしきい値電圧増加の抑制
(Suppression of Anomalous Threshold Voltage Increase with Area Scaling)
2010 Symposia on VLSI Technology and Circuits. June 15, 2010-June 18, 2010.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-02-14 11:44:59 +0900 Updated at: 2017-07-10 20:47:12 +0900