シリコンナノワイヤ中のドーパント原子の偏析挙動と動径分布
(Segregation behaviors and radial distribution of dopant atoms in silicon nanowires)
2011MRS Fall Meetings. 2011年11月26日-2011年11月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:05:59 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:08:32 +0900