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著者名FUKATA, Naoki, Shinya Ishida, Shigeki Yokono, Ryo Takiguchi, SEKIGUCHI, Takashi, Kouichi Murakami.
タイトルSegregation behaviors and radial distribution of dopant atoms in silicon nanowires
(シリコンナノワイヤ中のドーパント原子の偏析挙動と動径分布)
会議名2011MRS Fall Meetings
発表年2011
言語English
外部での文献参照

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