金属イオン注入熱酸化法によるSiO2中での金属酸化物ナノ粒子の形成
(Formation of metal-oxide nanoparticles in SiO2 by metal Ion Implantation combined with thermal oxidation)
14th International Conference on Ion Beam Modification of Materi. 2004.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:51:57 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:00:44 +0900