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(Influence of Oxygen Transfer in Hf-based High-k Dielectrics on Flatband Voltage Shift)

生田目 俊秀, 木村 将之, 山田 博之, 大井 暁彦, 大石知司, 知京 豊裕.
6th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interface. 2011. 招待講演

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    作成時刻 :2017-02-14 11:19:39 +0900 更新時刻 :2024-03-05 11:43:26 +0900

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