(Influence of Oxygen Transfer in Hf-based High-k Dielectrics on Flatband Voltage Shift)
6th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interface. 2011年05月25日-2011年05月27日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:19:39 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:43:26 +0900