Nanoparticle Formation and Microstructural Changes in Silicon Thermal Oxide Induced by High-flux Negative Copper Implantation
(大電流負Cuイオン注入によるシリコン熱酸化膜中のナノ粒子形成とミクロ構造変化)
12th International Conference on Ion Beam Modification of Materi. 2000年09月03日-2000年09月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:03:47 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:16:55 +0900