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ドライ酸化とウェット酸化で成長させた(0001)4H-SiC MOSFETの電流検出型電子共鳴分光を用いた酸化膜の比較
(Comparison between dry and wet oxide on (0001(_))4H-SiC MOSFETs studied by electrically detected magnetic resonance)

鹿児山陽平, 岡本光央, 吉岡裕典, 原田信介, 山崎 隆浩, 大野 隆央, 梅田享英.
応用物理学会秋季学術講演会. 2016.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-01-08 03:17:23 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:26:44 +0900

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