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著者名鹿児山陽平, 岡本光央, 吉岡裕典, 原田信介, 山崎 隆浩, 大野 隆央, 梅田享英.
タイトルドライ酸化とウェット酸化で成長させた(0001)4H-SiC MOSFETの電流検出型電子共鳴分光を用いた酸化膜の比較
(Comparison between dry and wet oxide on (0001(_))4H-SiC MOSFETs studied by electrically detected magnetic resonance)
会議名応用物理学会秋季学術講演会
発表年2016
言語Japanese
外部での文献参照

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