Growth of AlN on (001) diamond substrate by MOVPE
(MOVPE法による(001)面ダイヤモンド基板上の窒化アルミニウムの成長)
第28回電子材料シンポジウム(EMS28). 2009年07月08日-2009年07月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:08:42 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:31:52 +0900