SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

スパッタ法で作製したAlN薄膜の強誘電体特性評価

第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900更新時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900

    ▲ページトップへ移動