HOME > 口頭発表 > 書誌詳細スパッタ法で作製したAlN薄膜の強誘電体特性評価長谷川 浩太, 清水 荘雄, 大澤 健男, 坂口 勲, 大橋 直樹. 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.NIMS著者清水 荘雄大澤 健男坂口 勲大橋 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900更新時刻: 2023-10-14 03:08:36 +0900