HOME > Presentation > Detail
スパッタ法で作製したAlN薄膜の強誘電体特性評価
第70回応用物理学会春季学術講演会. March 15, 2023-March 18, 2023.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2023-10-14 03:08:36 +0900 Updated at: 2023-10-14 03:08:36 +0900