Effect of one ZrO2/HfO2 thickness of ZrO2/HfO2(Zr/Hf = 1/1) laminate on characteristics for non-volatile DRAM
AVS 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024). 2024年08月04日-2024年08月07日.
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作成時刻: 2024-11-19 03:15:59 +0900 更新時刻: 2024-11-19 03:15:59 +0900