サファイアm面基板上へのScN薄膜のヘテロエピタキシャル成長
(Heteroepitaxial growth of scandium nitride films on m-face sapphire substrates)
The 8th International Conference on the Science and Technolog. 2014年06月25日-2014年06月27日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 10:57:25 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:53:41 +0900