(TaC)1-xAlx/High-kスタックにおけるHigh-k層の酸素及びAl拡散がVfbシフトへ果たす役割
(Role of oxygen and Al diffusion in High-k layer for (TaC)1-xAlx/High-k stacks on Vfb shift)
2012 Tsukuba Nanotechnology Symposium TNS. 2012. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:47:05 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:44:03 +0900