The Hydrogen Effect on GaN film Growth by Near-Atmospheric Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition
第18回日本MRS学術シンポジウム . 2007年12月07日-2007年12月09日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:21:37 +0900 更新時刻: 2017-07-10 20:06:00 +0900