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著者名関口 隆史, 陳 君, 陳 斌.
タイトル電子線誘起電流(EBIC)法によるSi系材料の欠陥物性評価/粒界の電気的特性を中心として
(Characterization of Si-related materials by using Electron-Beam-Induced Current (EBIC) method)
会議名2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
発表年2008
言語Japanese
外部での文献参照

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