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著者名小山 洋, 山崎 隆浩, 奈良 純, 大野 隆央.
タイトル4H-SiC(0001)及び(000-1)表面の酸化反応の動的シミュレーション
(Molecular Dynamics simulations of oxidation on 4H-SiC(0001) and (000-1) surfaces)
会議名SiC及び関連半導体研究 第22回講演会
発表年2013
言語Japanese
外部での文献参照

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