4H-SiC(0001)及び(000-1)表面の酸化反応の動的シミュレーション
(Molecular Dynamics simulations of oxidation on 4H-SiC(0001) and (000-1) surfaces)
SiC及び関連半導体研究 第22回講演会. 2013.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:54:21 +0900更新時刻: 2018-06-05 13:29:00 +0900