(Nitrogen diffusivity in aluminum nitride studied using [Al15N]/[Al14N] multilayers)
MS&T Materials Science & Technology Conference & Exhibition 2010. 2010年10月17日-2010年10月21日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:52:24 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:56:05 +0900